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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:真空腔體

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSV250
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
該真空腔體非常適合物理沉積 (PVD)、化學沉積 (CVD)、等離子體化學沉積 (PECVD)、熱噴涂、電子束濺射等多種鍍膜
詳情介紹:

通用真空腔體設(shè)計用于在低壓至高真空 - 5·10-7 mm 下進行物理實驗。該真空腔體非常適合物理沉積 (PVD)、化學沉積 (CVD)、等離子體化學沉積 (PECVD)、熱噴涂、電子束濺射等多種鍍膜。 此外,在安裝適當?shù)脑O(shè)備時,真空柱還可用于進行固體物理領(lǐng)域的研究。

抽氣和真空室升降過程有手動和自動兩種控制方式。 真空柱的壓力和狀態(tài)顯示在液晶顯示屏上。

真空室被制成帽的形式。 腔室材料為不銹鋼,箱體上焊接有矩形冷卻通道。 腔室法蘭有許多支管,用于連接各種輸入:旋轉(zhuǎn)、電氣、低溫。 真空柱配備有自動室提升機構(gòu)。

腔體的技術(shù)特性。

真空系統(tǒng)

真空室內(nèi)徑

不小于250mm

真空室高度

不小于400mm

攝像頭類型

圓筒鐘型

腔體材質(zhì)

不銹鋼,12X18H10T

腔體內(nèi)表面加工

研磨、拋光

前級泵抽速

不小于5m3/h

前級泵類型

干式螺旋泵

高真空泵類型

渦輪分子泵組

高真空泵抽速

不小于300l/s

冷卻系統(tǒng)

線圈,入口/出口配件:1/4'

工作真空度

1x10-6毫米汞柱

極限真空

5х10-7毫米汞柱

達到工作真空的時間

不超過60分鐘

真空計類型

組合式寬范圍型

壓力測量范圍

760 mm Hg

旁路泵送管線

高真空閥

氣動,常閉

連接法蘭

KF16 – 2. KF25 – 6.

控制類型

手動/自動

真空系統(tǒng)控制方法

電動氣動

真空系統(tǒng)壓力和狀態(tài)指示

控制面板上的液晶顯示屏

外形尺寸

xx高(1000x1200x1800(2400)mm

重量

不超250KG

電源電壓

220V

電源相數(shù)

1

進氣壓力

4-8 Bar

功耗

0.5KW

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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